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Palabra clave:
“...RF magnetron sputtering...”
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Autores Martín, Carlos Ramírez, Rojas, Nairo Cavieles, Torres, Andrea Pineda, Lozano, Erika Rodríguez
Publicado 2016-02-28
Descripción:
“... sputtering con r.f. reactivo a partir de blancos de Ti y Nb de alta pureza (99,99%). La caracterización...”Publicado 2016-02-28
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